航天工业是硬质氧化技术最初的开发和应用的领域，表面防护技术是硬质氧化技术进行了多年的研究和发展的重点。世纪50年代，第一次应用在航天和军事领域的硬质氧化技术。美国，英国和其他国家的大型公司，航空发动机厂应用硬质氧化技术的产品成千上万；中国也已把硬质氧化技术用于大量的航空领域。氧化层的氧化包括耐腐蚀，磨损，热，隔热，密封，润滑磨等功能，并为喷气发动机的压缩机叶片，涡轮叶片，燃烧室衬里，杂志的起落架，机翼和机身的承重结构，在整流舱，外壳等部件组成。火箭喷嘴头和铝的氧化物，氧化锌等耐热耐腐蚀的氧化层，都是使用的硬质氧化工艺。在航天器的运用上，例如喷气推进弹性体整流罩铝氧化物，氧化锌绝缘氧化层；超短波天线绝缘氧化铝的绝缘氧化层；氧化锌等金属和氧化物，碳化物的氧化层来获得表面的抗粘附很强的硬质氧化膜，从而具有良好的绝缘和散热性能。
